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百級潔凈室的控制參數(shù)有哪些?

在百級潔凈室內(nèi),按其用途的不同應(yīng)控制下列參數(shù):
 
1、空氣中的潔凈粒子濃度(一般用美國TSI塵埃粒子檢測儀進(jìn)行檢測);
 
2、氣流的風(fēng)速和單向性(對單向氣流而言);
 
3、不同潔凈度級別的潔凈室之間和潔凈室與普通房間之間的壓差;
 
4、最終過濾器的整體性;
 
5、潔凈室經(jīng)污染后空氣潔凈度的自凈時(shí)間;
 
6、空氣溫度和濕度;
 
7、潔凈室的密閉性;
 
8、潔凈室表面的潔凈度;
 
9、靜電荷和離子發(fā)散;
 
10、空氣中和表面的微生物污染;
 
11、空氣中和工藝的分子污染。
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